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ハードディスクアルミニウム基板製造ラインの専用カセット収納サブストレートエージング自動化装置です
- クリーンルームクラス１０，０００対応装置です。
- 炉内の温度分布を均一にするため、還流ファン方式を採用しています。
- 炉内、コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。
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| 適 用 ワ ー ク |
３．５インチサブストレート |
| サイクルタイム |
１８〜２２ｓｅｃ／カセット |
| 電 源 |
ＡＣ４００Ｖ、ＡＣ２００Ｖ |
| 空 圧 源 |
０．５ＭＰａ以上 |
| 焼 鈍 温 度 |
２００℃〜３００℃ |
| ｸﾘｰﾝﾙｰﾑｸﾗｽ |
１０，０００クラス |
| 構成機器 |
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| ・連続焼鈍炉 |
１基 |
| ・移載装置 |
４台 |
| ・ワーク突上げユニット |
１台 |
| ・リターンコンベア |
１台 |
| ・縦送りコンベア |
１台 |
| 本 体 寸 法 |
6456mm(W)×2990mm(D)×2283mm(H) |
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